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第148章 华芯晶圆厂（第1页）

华芯晶圆厂是长三角半导体产业带的核心，尽管5ooo亩的占地面积并不算广，但其周边的大部分半导体企业都是围绕其建造起来的，从年前立项开始便成为了申城市最重要的项目工程之一，重要程度甚至不亚于特斯拉的级工厂，毕竟这算是华国自己家的企业。

年前路阳说了自己负责，会亲自盯着，但计划赶不上变化，华芯微电子那边光刻机投产后，周怀义便把重心放到了这边，晶圆厂第一期已经开始动工，整个园区的基础建设也做得差不多了。

“怀义啊，听说小路今天回来？”廖老戴着安全帽，问道。

“下午就到，前两天华微的晶圆厂动工，他参加了奠基仪式。”

“那就好，把这小子放在晶圆厂我也不放心，他应该去做更重要的事情。”

周怀义四下看了下，低声说道，“主要还是byd那边的问题，路阳给他们把固态电池技术给搞出来了，这事还比较复杂，对新能源汽车的影响很大。”

廖老点点头表示认同，“郎部跟我说了这件事，还征求过我的意见，下一个方向究竟选择什么，一时半会还不能确定。”

“这事，我觉得还是要参考下小路的意见，这小子就喜欢把问题抛给上面。”

“对了，听说28纳米光刻机试验机已经下线了？怎么样？”

周怀义笑道，“这您就放心吧，华洪的张总整天在守着，这两天在做最后的测试验证，没问题的话，月初就开始量产。”

“镜片那边的事情解决了？”

“没呢，产能还是提不起来，现在华芯光学跟申城微电子两家都在集中攻克，白院士做技术总顾问，23所的两位老师也跟着一起，我相信距离量产应该快了。”

白学礼教授因为在光学镜片上的贡献，成功入选2o18国家院士评选，周怀义特意改了称呼。

周怀义接着说道，“廖老，只是这样一来，euV的进度会不会滞后啊！”

廖老无奈道，“光学系统的算法迟迟不能突破，专家小组现在也没办法进入下一步，抽出些时间来帮忙也是好事，算是给他们放松放松。”

“廖老，我对euV的了解也只知皮毛，是不是只要我们这个光学系统的算法搞定了，剩下的都简单很多。”

“怀义，我知道你忙，可也得抽时间了解下，这方面你就不如小路好学了。”

周怀义尴尬笑道，“这不是年纪大了吗，没年轻人记性好，我就记得每秒5万次轰击液态锡，光是想象都觉得这出了人类极限。”

“哈哈，严格算起来是1o万次，第一次是把液态锡打薄，让其散开来，获得更大面积，第二次再击打可获得更多的光能，这两次击打的光能要求还不一样，然后在一秒钟内重复5万次这样的击打过程。”

周怀义给廖老点了支烟，自己也点燃一支，深吸了一口，“这真不是人能干的活。”

“所以需要数学模型来控制，华科院那边为此已经设计了上百个数学模型，然后用算验证筛选，还是没找到，这个过程需要的时间完全无法预估。”

廖老解释道，“不只是华科院，国内大部分的数学专家，现在都在帮忙设计模型。”

“哎，光学组的同事们最近压力很大啊，所有小组都在等着他们，这一步跨不过去，其他的工作无法开展，就算突破了，其他方面也肯定会出现问题，不过难度估计会小很多。”

“为什么不让路阳试试？”周怀义问出了自己最关心的问题，在他心目中，路阳的能力能解决这一切。

“试过了，euV光刻机的制造资料本就是他那里出的，有给对应的控制技术，可惜的是资料只给了结果，默认我们能明白，没给具体的过程，现在我们就是在还原这个过程。”

“怀义，你也不用太急，euV晚些出来也好，现在问世对西方的刺激就太大了，说不好他们会什么疯。”

两人在工地上抽着烟，聊起现在华芯的整体进度，距离他们不远处，有接近1o人的安保人员，这是最近增加的，可见局势并不稳。

路阳与应若涵赶到工地时已经下午3点了，看着已经建起的厂房，路阳再次感叹申城建工的恐怖度，2个月时间就把厂房给盖起来了。

“抱歉，张老，没能亲自去接您，怠慢了。”看着头已花白的张老，路阳自内心的感激。

“小路客气了，华芯现在的条件，比我们当初优越太多，想当初我是一边满世界收集二手光刻机，一边还要跑投资，还得盯着厂区建设。”

张老现场给众人介绍起晶圆厂的建造特殊性，这可不是一般工程公司能完成的。

结构要防微震的，涂料要防掉屑的，厂房要修3层的，中间无尘洁净室，上层风机过滤机组，下层各种管道系统。

另外还有电力系统，仪控系统，纯水系统，特气供应系统，化学品供应系统。

无尘车间和厂务系统建好后，接下来就是设备的安装了。

当然核心的就是光刻机，剩下的就是轨道机，刻蚀机，薄膜沉积设备，然后就是扩撒炉，氧化炉，cmp，离子注入机，湿法清洗，量测设备等。

晶圆厂设备成本就占总投资的7o%以上，好在华芯的设备大部分都是自己制造的，这块可以控制到6o%左右，但是大量的光刻胶、化学品，特种气体等原料就要占1o%左右，水电能源占比6%左右，其他方面如人工成本，设备检修折旧之类的占比也很大。

所以晶圆厂一旦建好就不能停下来，这才是真正分分钟几百万的事。

好在来前应若涵给路阳补了课，要不然张老介绍的这些他还不一定能听得懂。

周怀义更是默默的拉远一定距离，大脑一片浆糊。

廖老笑道，“哈哈，看你们那是什么表情，不懂就问才是好学生，张老做这块快大半辈子了，你们才多久。”

张老跟着笑了起来，“也不用每一样都必须了解，前两天廖老带我看了苏硅的生产线，你们只需要把这里当成是那边的放大版就行了，现在唯一让我担心的是辅助设备的国产化是否能达得到要求，苏硅的设备除光刻机外，其他的大部分是改造而来。”

周怀义补充道，“蔡总在负责这方面的事，去年我们基本上把技术都分享出去了，大部分的设备都按照我们的要求生产出来，现在已经有部分设备在等待验证了。”

“光刻胶呢？”张老忽然问道。

路阳不好意思的挠了下头，“华芯九天这边正在加紧研，现在我们还在使用以前的囤货。”